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江嵐眼眶微紅得看著他,感動(dòng)于顧北舟對(duì)自己的“維護(hù)和孝心”,下意識(shí)就要說(shuō)出自己的懷疑和江南假死騙人一事。
但她轉(zhuǎn)念一想,江南現(xiàn)在喪心病狂什么都敢做,甚至蘇雅婷和柯敏慘烈的下場(chǎng)也有他的手筆,如果自己直接告訴顧北舟,豈不是把舟舟置于江南的威脅之下,誰(shuí)知道到時(shí)候江南會(huì)怎么對(duì)付他。
江南有后臺(tái)有名聲有手段,舟舟現(xiàn)在可只有自己了。
所以她的嘴唇顫抖半響,最終還是把想說(shuō)的話咽了回去,只故作無(wú)事得勉強(qiáng)笑笑。
“只是懷疑而已,當(dāng)不得真。況且昨晚沒(méi)找到真兇、監(jiān)控探頭又用不上,這事兒還是算了。”
“可是您摔成那樣,醫(yī)生都說(shuō)了這腿沒(méi)有兩三個(gè)月根本養(yǎng)不好……”顧北舟還是不放心。
“好了。”江嵐安撫得拍了拍床單,示意顧北舟坐在自己身邊,自然得轉(zhuǎn)移話題。
“你還沒(méi)說(shuō)呢,昨晚找我那件事,你又發(fā)現(xiàn)什么了?”
想到顧北舟最近的所作所為,江嵐欣慰得笑了起來(lái)。
雖說(shuō)她那幾個(gè)徒弟現(xiàn)在看來(lái)都不是省油的燈,江南更是心腸歹毒肆意妄為。
但還好,舟舟依舊是那個(gè)天資出眾善良孝順的少年,哪怕之前因?yàn)闋?zhēng)寵做了些孩子氣的錯(cuò)事,但比起不擇手段沖動(dòng)行事的關(guān)容和羅菲,還有喪心病狂到對(duì)親媽出手的江南,老老實(shí)實(shí)做科研專心工作的顧北舟簡(jiǎn)直乖巧正直得不像話。
自從之前被全網(wǎng)罵比不上江南,被關(guān)容肖芙等人明里暗里針對(duì),舟舟就像換了個(gè)人。不僅為人處世像瞬間長(zhǎng)大了一般進(jìn)退有度沉穩(wěn)下來(lái),更是一夜之間脫胎換骨,不僅在科研學(xué)術(shù)上進(jìn)步神速,還為她提供了不少解決難題的思路。
若不是有江南攔在前面,以舟舟表現(xiàn)出的天資和努力程度,恐怕成就遠(yuǎn)不止于此……
像是絲毫沒(méi)看出江嵐眼底的唏噓之意,顧北舟一拍腦袋,轉(zhuǎn)身從包里掏出早就準(zhǔn)備好的文件。
“江姨,您之前提過(guò),我們正在攻關(guān)的第五代深紫外光刻機(jī)目前卡在了兩個(gè)相互關(guān)聯(lián)的核心難題上。”
顧北舟將文件遞過(guò)去,神情莊重又嚴(yán)肅。
“第一個(gè)是光源的功率和穩(wěn)定性問(wèn)題。”他指著文件上的圖表,“我們的激光等離子體光源,在產(chǎn)生極紫外波段的光時(shí),轉(zhuǎn)換效率極低,且輸出功率波動(dòng)較大,難以滿足高強(qiáng)度、長(zhǎng)時(shí)間晶圓曝光的需要。功率不足直接導(dǎo)致曝光時(shí)間延長(zhǎng),良品率下降;而功率不穩(wěn)則會(huì)在晶圓上形成難以預(yù)測(cè)的缺陷。”
“第二個(gè),也是更加棘手的是隨之而來(lái)的熱管理和熱變形問(wèn)題。”顧北舟翻到下一頁(yè),上面是復(fù)雜的熱力學(xué)模擬圖,“高功率激光轟擊錫滴產(chǎn)生等離子體的過(guò)程,會(huì)釋放巨大熱量。這些熱量不僅對(duì)收集光學(xué)元件的涂層壽命是嚴(yán)峻考驗(yàn),更關(guān)鍵的是會(huì)引起光學(xué)系統(tǒng)乃至整個(gè)工件臺(tái)的微觀熱變形。哪怕是納米級(jí)別的形變,也足以讓光刻精度前功盡棄,導(dǎo)致線路模糊或錯(cuò)位。目前我們的冷卻系統(tǒng)效率根本跟不上熱積累的速度。”
江嵐的神情逐漸凝重起來(lái),這的確是困擾她團(tuán)隊(duì)數(shù)月、讓她寢食難安的核心瓶頸。
顧北舟點(diǎn)出的這些不僅準(zhǔn)確概括她遇到的難題,還意識(shí)到了連鎖反應(yīng)的嚴(yán)重性。
江嵐意識(shí)到,能分析到這一步,恐怕顧北舟是真的研究出了什么不得了的成果。
她迫不及待得身體前傾著急詢問(wèn):“那你提出的解決思路是?”
顧北舟從容得翻到文件后方解決方案的部分:“針對(duì)光源問(wèn)題,我設(shè)想了一種多級(jí)預(yù)脈沖激光優(yōu)化方案。通過(guò)調(diào)整主脈沖激光之前的一系列微弱的預(yù)脈沖序列,可以更精確地控制錫滴的形狀和分布,使其在受到主脈沖沖擊時(shí),能更高效地轉(zhuǎn)化為理想的等離子體狀態(tài),理論上可以提升約15%的光源功率和顯著改善穩(wěn)定性。相關(guān)參數(shù)模擬和初步算法都在附錄里。”
“至于熱管理,”顧北舟聲音沉穩(wěn),眼神中閃爍著自信的光芒,“我認(rèn)為可以引入一種基于相位改變材料的主動(dòng)式微循環(huán)散熱系統(tǒng)。在關(guān)鍵的熱積聚點(diǎn),比如收集鏡座內(nèi)部,嵌入微型的PCM膠囊。當(dāng)溫度升高至材料熔點(diǎn)時(shí),PCM吸收大量熱量熔化;當(dāng)系統(tǒng)冷卻時(shí),它又凝固放熱。這種‘潛熱’吸收方式,可以非常高效地平滑溫度峰值,再配合優(yōu)化后的微流體通道進(jìn)行熱量交換,能將光學(xué)元件的熱變形控制在皮米級(jí)別。材料的篩選、微型化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)以及系統(tǒng)集成方案,我也做了初步的可行性分析和模擬驗(yàn)證。”
他娓娓道來(lái),提出了目前整理出的最先進(jìn)、最創(chuàng)新且具體的解決方案。
江嵐越聽(tīng)眼睛越亮,這些想法無(wú)疑直接切中要害,讓她有種柳暗花明又一村的感覺(jué)。
江嵐激動(dòng)得攥緊手中那份沉甸甸的文件,手指發(fā)顫得快速翻閱著里面詳實(shí)的數(shù)據(jù)、復(fù)雜的公式和大量的模擬實(shí)驗(yàn)結(jié)果圖表。
“這……舟舟,你知道你研究的這些意味著什么嗎?你解決的很可能是當(dāng)今國(guó)際上最前沿的光刻機(jī)技術(shù)難題,在你之前從沒(méi)有人能走到這一步!尤其是這個(gè)PCM微循環(huán)散熱的概念,非常巧妙!”
江嵐難以置信地抬起頭,激動(dòng)得不停追問(wèn)細(xì)節(jié),“不過(guò)關(guān)于預(yù)脈沖序列的時(shí)序控制精度,你是怎么考慮的?還有PCM材料在長(zhǎng)期循環(huán)下的可靠性問(wèn)題……”
顧北舟眼眸微閃,似乎早就料到她會(huì)提問(wèn),直接流暢得回答起來(lái),甚至不用看文件就能精準(zhǔn)說(shuō)出勘測(cè)數(shù)據(jù)和光點(diǎn)模型。
他不僅解釋了時(shí)序控制如何與高速相機(jī)和光譜儀反饋形成閉環(huán)調(diào)控,還詳細(xì)分析了數(shù)種候選PCM材料的疲勞特性及其封裝保護(hù)策略。
看得出來(lái),顧北舟并不是臨時(shí)起意,而是經(jīng)過(guò)了長(zhǎng)時(shí)間的深思熟慮和大量案頭工作,對(duì)江嵐拿著的這份文件熟悉到了極點(diǎn)。